top of page

ГАЛЕРЕЯ проектов

SOBOL 4 - 500

​

  • Углеродный импульсно-дуговый источник плазмы (Carbon Source) - 2

  • Титановый дуговой источник плазмы (Titan Source) - 2

  • Ионный источник плазмы (Ion Source)

  • Смещение (BIAS)

  • Выносной стол (Mobile carousel 68 axis, diam. 500mm)

​

Рабочая зона - H 400mm x D 500mm

Покрытие - DLC Ta-C

PLASMA ADS 600

 

  • Углеродный импульсно-дуговый источник плазмы (Carbon Source) - 2

  • Титановый дуговой источник плазмы (Titan Source) - 2

  • Ионный источник плазмы (Ion Source)

  • Смещение (BIAS)

  • Выносной стол (Mobile carousel 8 axis, diam. 600mm)

​

Рабочая зона - H 400mm x D 600mm

Покрытие - DLC Ta-C

PLASMA CUBE 400

​

  • Углеродный импульсно-дуговый источник плазмы (Carbon Source) - 1

  • Титановый дуговой источник плазмы (Titan Source) - 1

  • Ионный источник плазмы (Ion Source)

  • Смещение (BIAS)

  • Выносной стол (Mobile carousel 68 axis, diam. 400mm)

​

Рабочая зона - H 100mm x D 400mm

Покрытие - DLC Ta-C

NEW DLC-600

​

  • Углеродный импульсно-дуговый источник плазмы (Carbon Source) - 8

  • Титановый дуговой источник плазмы (Titan Source) - 2

  • Ионный источник плазмы (Ion Source) - 6

  • Смещение (BIAS)

  • Cтол (Сarousel 48 axis, diam. 600mm)

​

Рабочая зона - H 400mm x D 600mm

Покрытие - DLC Ta-C

​

DLC-600 модернизированная УВНИПА-1-002

​

  • Углеродный импульсно-дуговый источник плазмы (Carbon Source) - 8

  • Титановый дуговой источник плазмы (Titan Source) - 2

  • Ионный источник плазмы (Ion Source) - 2

  • Смещение (BIAS)

  • Выносной стол (Mobile carousel 68 axis, diam. 600mm)

​

Рабочая зона - H 400mm x D 600mm

Покрытие - DLC Ta-C

​

DLC Stripping machine

​

  • Ионный источник плазмы (Ion Source) - 8

  • Смещение (BIAS)

  • Стол (Carousel 180 axis, diam. 450mm)

​

Рабочая зона - H 200mm x D 400mm

Удаление покрытия - DLC Ta-C

​

Ion Etching machine for Blades

​

  • Ионный источник плазмы (Ion Source) - 6

  • ПИНК источник плазмы (PINK)

  • Смещение (BIAS)

  • Выносной стол (Mobile carousel 8 axis, diam. 600mm)

  • Держатель для лезвий (200 000 шт.)

​

Рабочая зона - H 400mm x D 600mm

Ионная заточка и азотирование (Ionic Sharpening and Debarring, Nitrating)

​

Polishing Electron Beam System

​

  • Источник электронного пучка 30кВ (Electron Beam source)

  • 3D стол (3D table)

​

Рабочая зона - 100 x 200 x 300mm

Полировка электоронным пучком (Surface Polishing)

​

Ion Implantation System

​

Параметры:

  • I penning - 0.5...1.5 A

  • U target - 0...2000 V

  • U acc - 30...35 kV

​

Рабочая зона - диам. 300mm

Легирование поверхностного слоя (Ion-implantation doping of a superficial layer)

​

bottom of page